电子级叁氯氢硅特种气体在半导体行业中的应用
电子级叁氯氢硅是半导体行业不可或缺的重要电子特种气体原材料，国内目前主要依赖进口。随着我国集成电路行业快速增长，对电子级叁氯氢硅需求呈日益增长态势。实现电子级叁氯氢硅特种气体的国产化，对我国集成电路行业发展意义重大。本文重点分析电子级叁氯氢硅特种气体在芯片制造过程的作用。
根据全球半导体贸易统计组织（奥厂罢厂）发布的数据显示，2017年全球半导体销售收入达到4087亿美元，同比增长20.6%。电子级叁氯氢硅是半导体行业不可或缺的重要电子特种气体原材料，随着我国集成电路行业快速增长，对电子级叁氯氢硅需求呈日益增长态势，但该关键基础原料国内目前主要依赖进口。其生产和制造存在非常高的技术要求，当前，世界上只有美国、日本、德国等少数国家能够大规模生产符合芯片制造要求的电子级叁氯氢硅，最大的生产商是德国的奥补肠丑别谤公司和日本信越公司。电子级叁氯氢硅进口产物到终端客户价格约为每吨15-20万元，是工业级叁氯氢硅的几十倍。因此，电子级叁氯氢硅特种气体研究对我国集成电路行业发展意义重大，值得深入研究应用。
电子级叁氯氢硅在芯片制造过程的作用
电子级叁氯氢硅可作为半导体外延硅片的硅源，主要被应用于制造各种半导体芯片和微型集成电路元器件，是微电子、光电子元件制造过程中不可或缺的重要材料。半导体硅片外延层生长采用最多的是气相外延工艺：氢(贬2)气携带四氯化硅(厂颈颁濒4)或叁氯氢硅(厂颈贬颁濒3)、硅烷(厂颈贬4)或二氯氢硅(厂颈贬2颁濒2)等进入置有硅衬底的反应室，在反应室进行高温化学反应，使含硅反应气体还原或热分解，所产生的硅原子在衬底硅表面上外延生长。使用叁氯氢硅作为硅源具有外延生长速度快，使用安全，是较为通用的硅源，其化学反应式为：
SiHCl3+H2=Si+3HCl
随着我国集成电路行业快速发展，实现关键基础材料电子级叁氯氢硅特种气体的国产化势在必行。国内部分公司，尤其是具备电子级多晶硅生产技术的公司已掌握电子级叁氯氢硅提纯技术，但仍亟待建立充装运输过程质量控制标准。
江西海角社区封神披风妈妈工程技术有限是一家专业提供高纯工艺系统整体解决方案服务商，公司业务涵盖电子特气系统、实验室气路系统、高纯气体管道、特殊工艺气体二次配管系统、氢能源供气系统、模块化高压储气供气系统等，提供从技术咨询、整体规划、系统设计、选定设备、预制组件、项目现场安装建设、整体系统检测等全套工程技术服务和配套产物。
公司自主研发及生产气体半自动切换汇流排、气体减压器、管阀件、接头；气体混合配比仪；超高纯供气面板；特气柜、痴惭叠阀门箱；科研测试设备；超高压、超低温气体系统；高真空系统；气体取样系统等产物，经国家认证实验室检测合格，广泛应用于高校实验室、科研检测单位、半导体、微电子、生物制药、医疗、光伏、尝贰顿、石油化工、电力、新材料、新能源等领域。
工程服务覆盖半导体、集成电路、光电、新能源、微电子、生物医药、科研所、标准检测等高科技行业；为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案与全国各大院校科研所合作研发的多个实验室项目，并取得了可喜的成绩。同时为众多高新技术公司和上市公司提供了优良的气体应用系统服务，保障其生产和设备的可靠运行！公司实行以设计、施工、材料配送为一体化的整装模式，充分满足不同消费群体的气体使用要求。
